微小型質量流量控制器的特點及應用
更新時間:2024-12-20 17:01:42
質量流量控制器,其英文名為(Mass Flow Controller,簡稱MFC)是一種高精度的測量流量的儀表,常用于測量并自動控制氣體或液體的質量流量。它在多個領域內扮演著關鍵角色,其廣泛用于真空鍍膜,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造等設備中。那么微小質量流量控制器,又有何特點,其中應用有什么不同。下面介紹微小型質量流量控制器的特點及應用。
微小質量流量控制器它在半導體和集成電路工業,特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要作用。其典型的應用場合包括,電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化,等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。因其微小方便,性能突出等優勢常用于精密設備及精密控制的場所。
其產品特點有:微小質量流量控制器具備采集管路氣體、液體流量等功能,并能夠接受計算機設定值,通過 PID 程序控制調節閥,完成流量的自動化調節。本流量控制器具有體積小,集成度高,準確度高, 調節時間短,使用方便,工作穩定等特點。特別是在需要精確控制流體流量的工業、科研和醫療應用中廣泛使用。如在呼吸罩制造企業產品漏氣量檢測應用,其介質為空氣,流量為10-150ml/min,壓力1-2kg,應用精度能達1%
總結,如果在使用微小型質量流量控制器測量不準確的問題,首先要將產品取下來,不要自行拆機也不要用吹風機或者其他氣體例如氮氣去吹掃,應該將流量計或者控制器取下來靜置陰干2-3天,等里面的液體干透之后再安裝進管路進行測試。因為其具有集成度高,微小等特點內部構造脆弱,強力拆卸很容易導致控制器損壞,而不得常失。以上就是微小型質量流量控制器的特點及應用的介紹,更多產品詳情內容請關注江西誠睿自動化官網。
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